真空脫氣
對(duì)于真空鍍膜而言，脫氣工藝在提高產(chǎn)品品質(zhì)上非常重要。
在樹脂薄膜基材上的鍍膜 ≠ 在玻璃基材上的鍍膜
● 在真空環(huán)境下，加入了等離子等熱因素后，會(huì)從樹脂薄膜里溢出擾亂氣體。
● 樹脂薄膜以及其表面的涂布層僅靠干燥工藝是無(wú)法徹底干燥徹底的。
- 干燥工藝：有大氣壓影響。氣體無(wú)法充分釋出。
- 鍍膜工藝：無(wú)大氣壓影響。氣體可充分釋出。
為高品質(zhì)提供保障的脫氣工藝
● 脫氣工藝要點(diǎn)
- 真空環(huán)境
- 烘烤加熱
- 動(dòng)態(tài)搬送
舉例：ITO的品質(zhì)改善
要制造高品質(zhì)的ITO薄膜，必須對(duì)氧氣進(jìn)行高精度的控制。
同時(shí)，從基材釋出的氣體，會(huì)成為外部因素?cái)_亂氧氣控制。
通過(guò)鍍膜前的真空脫氣，可實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)，高良品率。
真空脫氣裝置
● 加熱方式
- 非接觸式輻射加熱
- 接觸加熱（鍍膜筒加熱）
● 加熱器加熱長(zhǎng)度
- 脫氣量的測(cè)量
- 溫度 ?加熱時(shí)間的見解
→ 我司推薦的加熱器加熱長(zhǎng)度
● 真空排氣
- 使用我司值得信賴的，業(yè)績(jī)充分的排氣方式。
- 所謂大量的釋出氣體（水蒸氣?聚合物）的處置方式。
● 動(dòng)態(tài)搬送
- 在日本代表性的ITO鍍膜企業(yè)具有寬幅1.6m的真空脫氣設(shè)備業(yè)績(jī)。
- 該公司對(duì)其給予了品質(zhì)改善的信任，視為絕對(duì)必須的生產(chǎn)工藝。
真空脫氣設(shè)備 : W30D 系列
磁控濺射 : W60S 系列
真空脫氣系統(tǒng)的基本技術(shù)參數(shù)
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